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四氟化碳CF4
四氟化碳，又名四氟甲烷，化學(xué)式為CF4，它既可以被視為一種鹵代烴（有機(jī)物），也可以被視為一種無機(jī)化合物，常溫常壓下為無色氣體，不溶于水，溶于苯和氯仿，主要用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝，也用作激光氣體、低溫制冷劑、溶劑、潤滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的不燃?xì)怏w專用庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應(yīng)與易（可）燃物、氧化劑分開存放，切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
CAS 編號(hào)
75-73-0
UN 編號(hào)
1982
EINECS 編號(hào)
200-896-5
分子量
88.004
熔點(diǎn)
-184 ℃
沸點(diǎn)
-130 ℃
DOT 類
2.2
外觀
無色無味
標(biāo)簽
不易燃?xì)怏w
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包裝規(guī)格
鋼瓶規(guī)格 | 含量 | |
鋼瓶容量 | 閥門 | 重量 |
47L | CGA580 | 30 kg |
電子級(jí)四氟化碳99.999%
規(guī)格 | 99.999% |
氧氣+氬氣 | ≤ 1 ppm |
氮?dú)?/p> | ≤ 2 ppm |
氫氣 | ≤ 0.3 ppm |
一氧化碳 | ≤ 0.3 ppm |
二氧化碳 | ≤ 0.3 ppm |
六氟化硫 | ≤ 0.3 ppm |
四氫大麻酚 | ≤ 0.3 ppm |
三氟甲烷 | ≤ 0.3 ppm |
OFC | ≤ 1 ppm |
水分 | ≤ 1 ppm |
氟化氫 | ≤ 0.1 ppm |
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